微機電與感測器的全球商機及技術革新

Epson Toyocom 的QMEMS元件將石英晶體帶進21世紀



18 世紀英國詩人William Blake寫出了「從一粒砂中看世界」。21世紀的工藝尚無法達到這般境界,但現今精密工程,已能將元件和機械整合到不大於一粒砂大的體積。這種將機、電元件整合在一起的工程,稱為『微機電系統』(Micro-Electro-MechanicalSystem , MEMS)技術,所用的原料多半是矽、聚合物和金屬。現今Epson Toyocom Corp. (以下簡稱「Epson Toyocom」)在以石英
晶體為主材料的產品線中,新增了一種類別,稱為QMEMS。

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http://w3.epson.com.tw/Epson/public/download/TechnologyNewsline/tnl0702_ch.pdf

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