從半導體展看到的專題，還蠻有意思的，就google一下相關訊息
Minimal fab提供高價值和小體積的半導體工廠，包括了半英寸晶圓的超小型等器具，橫河電機(Yokogawa)於2016年4月在東京武藏野市建立了最小的Fab應用實驗室。
從表中可以看到：Minimal Fab Equipment List，目前可以用的機台，及待開發的機台生產時間
Focused Light Heating CVD及Ion Implanter預計可以在2020年可以完成
其它如SPM-Cleaning、Coater、Maskless Exposure (A)、Developer、Furnace、PE-CVD (TEOS)、Deep RIE、Asher (Micro Plasma)、Optical Thickness Meter、Wafer Surface Scanner等，有興趣可連絡橫河電機。
[VIA]
「2017 SEMI 日本微型晶圓(Minimal Fab)及試作產業參訪團」出國報告
Minimal Fab - Yokogawa Global
日本顛覆台積電霸業的秘密武器──物聯網時代的「迷你晶圓廠」
Minimal fab提供高價值和小體積的半導體工廠，包括了半英寸晶圓的超小型等器具，橫河電機(Yokogawa)於2016年4月在東京武藏野市建立了最小的Fab應用實驗室。
其中關鍵作動因子為其將直徑12.5mm或13.5mm的小尺寸晶圓放入稱為「Shuttle」的密閉容器，透過設備進行製程處理，在非無塵室環境下進行晶圓製造。隨著晶圓及生產設備小型化，可以減少或不需要半導體生產所需化學藥劑及廢液處理設備，設備電源也可以用家用 110V 的電力，大幅降低工廠建設成本及空間。
從表中可以看到：Minimal Fab Equipment List，目前可以用的機台，及待開發的機台生產時間
Focused Light Heating CVD及Ion Implanter預計可以在2020年可以完成
其它如SPM-Cleaning、Coater、Maskless Exposure (A)、Developer、Furnace、PE-CVD (TEOS)、Deep RIE、Asher (Micro Plasma)、Optical Thickness Meter、Wafer Surface Scanner等，有興趣可連絡橫河電機。
[VIA]
「2017 SEMI 日本微型晶圓(Minimal Fab)及試作產業參訪團」出國報告
Minimal Fab - Yokogawa Global
日本顛覆台積電霸業的秘密武器──物聯網時代的「迷你晶圓廠」
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