微機電與感測器的全球商機及技術革新

台積電及聯電MEMS代工現況

台積電與聯電雖為台灣2大晶圓代工廠,到目前為止相當積極布局MEMS晶圓代工,最主要原因希望藉由MEMS代工,擴大營收規模以及獲利。根據市場調查機構資料顯示,半導體產業未來2~3年內,由於產品應用端受限,再加上整體經濟環保尚未復甦,因此晶圓代工廠為避免公司不再成長,才會想要搶進過去涉獵未深的 MEMS晶圓代工。

聯電目前已推出Mixed Signal/MEMS製程供客戶使用,希望客戶能夠真正做到One Stop Shopping目的,不再像過去那樣,僅能替客戶代工CMOS IC,據了解,聯電當前已有幾家MEMS客戶開始進行投片,一些MEMS麥克風、加速度計、陀螺儀公司均已陸續到位。

台積電現在有兩座廠代工 MEMS產品,分別是FAB2廠與FAB3廠部分,FAB2廠目前為6吋代工廠,FAB3廠則是8吋代工,先前台積電的FAB2廠可代工完整MEMS產品,就是CMOS IC與MEMS IC均可在FAB2廠完成,到2009年第3季,台積電FAB3廠也可將CMOS IC與MEMS IC同步做完,未來兩大晶圓代工廠將由CMOS IC戰爭打到MEMS晶圓代工。

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htitimtp://www.diges.com.tw/tw/dt/n/shwnws.asp?CnlID=10&id=0000142836_A1Y9P49B2QWJYI7KQXAE0

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Do you know if TSMC or UMC has the PZT process for MEMS devices? Or whoever in Taiwan(ITRI, NDL,...) can support a R&D/pilot production project? Thanks.

JC