叢書名稱： 微納系統系列譯叢
作 者： (日) 土屋智由
出版單位： 東南大學
出版日期： 2009.03
進貨日期： 98/09/16
ＩＳＢＮ： 9787564115753
售 價： 50 人民幣
編輯推薦：
“MEMS的可靠性”，由東南大學出版社出版。
內容簡介：
“MEMS的可靠性”是國際上微機電系統可靠性領域第一本專著，共分為兩部分。第一部分論述的MEMS材料的可靠性內容及主要表徵方法，包括基於MEMS材料的可靠性，微納壓痕儀，鼓脹測試，彎曲測試，單軸張應力測試，片上測試，第二部分論述的 MEMS器件的可靠性，包括壓力傳感器可靠性，慣性傳感器可靠性，RFMEMS可靠性和光MEMS的可靠性。內容新穎，數據充實，適合於微機電系統，微電子，光電子，傳感器，通訊技術領域的高年級大學生，研究生和工程技術人員參考。
圖書目錄：
概述：微機電系統可靠性導論
1基於MEMS材料力學性能評價及評價標準
1.1 簡介
1.2薄膜材料的力學性能與微機電系統
1.2.1彈性性能
1.2.2內應力
1.2.3強度
1.2.4 疲勞
1.3力學性能評價的關鍵問題
1.3.1樣品
1.3.2測試方法
1.3.3標準
1.4薄膜拉伸測試方法的綜合比對
1.4.1拉伸測試方法
1.4.2樣品設計
1.4.3材料
1.4.4樣品製備
1.4.5 結果
1.4.5.1單晶矽與多晶矽
1.4.5.2鎳
1.4.5.3鈦
1.4.6討論
1.5微機電系統材料的國際標準
1.5.1微機電系統標準化機構
1.5.1.1東區走廊
1.5.1.2 ASTMInternational
1.5.1.3半
1.5.1.4日本微機械中心
1.5.2薄膜單軸應力測試的國際標準
1.6結論
參考文獻
2勻質材料和塗層-襯底複合材料的彈塑性壓入接觸力學
2.1簡介
2.2微納壓痕儀
2.3壓人載荷與壓人深度的關係
2.4圓錐/棱錐形壓痕的彈塑性接觸變形理論
2.4.1彈性接觸
2.4.2 塑性接觸
2.4.3彈塑性接觸
2.4.4壓入接觸面積乙?與Oliver-Pharr/Field-Swain近似
2.4.5 壓入接觸的能量原理
2.5塗層-襯底複合材料的接觸力學
2.5.1彈性壓入接觸力學
2.5.2彈塑性壓入接觸力學
2.6 結論
2.7備註
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http://www.waterlike.com.tw/bookdata.asp?NO=TM3C099002
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